低氣體流量如何測(cè)量與控制？

上海自動(dòng)化儀表有限公司介紹流量計(jì)有幾種基本的測(cè)量技術(shù)，例如：

電磁流量計(jì)

熱質(zhì)量流量計(jì)

科里奧利質(zhì)量流量計(jì)

差壓流量計(jì)

渦街流量計(jì)

位置位移流量計(jì)（PD流量計(jì)）

渦輪流量計(jì)

可變面積流量計(jì)

除了上述提到的以外，還有一些鮮為人知的獨(dú)特類型的流量計(jì)技術(shù)，這些技術(shù)通常為單個(gè)應(yīng)用提供解決方案。沒(méi)有“非常佳流量計(jì)”，這完全取決于應(yīng)用程序以及用戶對(duì)設(shè)備的期望。

在本文中，您將了解氣體流量相對(duì)較低的測(cè)量?jī)x器，例如 ，從幾cc / min到500或1000 ln / min。在這一應(yīng)用領(lǐng)域中，非常常見(jiàn)的儀表是帶有熱旁路概念的氣體質(zhì)量流量計(jì)。有氣體 質(zhì)量流量計(jì)（MFM） 和 質(zhì)量流量控制器（MFC）。非常終，流量計(jì)將配備一個(gè)控制閥，您可以提供一個(gè)確定所產(chǎn)生的氣體流量的設(shè)定值。MFC是這些工具的參考。

測(cè)量概念

在熱旁路概念中，大多數(shù)測(cè)得的氣體流經(jīng)旁路。在旁路中是一個(gè)產(chǎn)生非常小壓降的元件。結(jié)果，少量氣體流經(jīng)傳感器，該傳感器平行于旁路運(yùn)行。該傳感器測(cè)量氣體流量，該氣體流量代表所監(jiān)視氣體的總量。每個(gè)儀器都針對(duì)特定的氣體和特定的測(cè)量范圍而構(gòu)建。

熱旁路

質(zhì)量流量計(jì)（MFM）和質(zhì)量流量控制器（MFC）的名稱不言而喻：這些儀器測(cè)量和調(diào)節(jié)氣體流量，例如以kg / hr為單位。測(cè)量值也可以以標(biāo)準(zhǔn)化體積為單位表示，例如ln / min（每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升）或SCFH（每小時(shí)標(biāo)準(zhǔn)立方英尺）。在SCFH（每小時(shí)標(biāo)準(zhǔn)立方英尺）中，“ S”是指20°C和1個(gè)大氣壓，而NCCM（標(biāo)準(zhǔn)立方厘米/分鐘）是在0°C和1個(gè)大氣壓的參考條件下表示的。畢竟，氣體的質(zhì)量單位與歸一化體積（密度）之間存在固定的關(guān)系。

基于毛細(xì)管傳感器的MFC 與帶有MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）傳感器的儀器 之間存在區(qū)別 。兩種傳感器技術(shù)都有優(yōu)點(diǎn)和局限性。由于沒(méi)有可怕的測(cè)量?jī)x器，在此特意避免使用“ cons”一詞。該應(yīng)用程序可以驅(qū)動(dòng)首選示例，例如 保時(shí)捷911 是一款出色的汽車，但您不應(yīng)在撒哈拉沙漠中使用它。

什么是毛細(xì)管流量傳感器？

毛細(xì)管傳感器由一根細(xì)鋼管（外徑為0.2至1毫米）組成，并用兩根細(xì)鉑金絲包裹。的鉑絲用作電阻和是惠斯通電橋的一部分。鉑絲的電阻值取決于溫度。這些導(dǎo)線中有電流通過(guò)，從而將它們加熱。在零流量時(shí)，電阻是相同的，但是當(dāng)流量通過(guò)傳感器時(shí)，電子設(shè)備會(huì)檢測(cè)到溫度差。

MFC中的層流元件（LFE）在旁路中配有毛細(xì)管傳感器。該LFE會(huì)產(chǎn)生層流行為，就像在傳感器內(nèi)部一樣。LFE意味著通過(guò)傳感器的流量與通過(guò)旁路的流量之間的關(guān)系在測(cè)量范圍內(nèi)幾乎是線性的。由于這種線性關(guān)系，可以用廉價(jià)的純凈氣體（如空氣）校準(zhǔn)該MFC并使用已知因素使儀表適合其他異國(guó)，爆炸，有毒或易燃?xì)怏w。如果應(yīng)用所謂的K因子，則會(huì)有更多不確定性。在知名制造商的用戶手冊(cè)中，據(jù)報(bào)告指示性誤差還超過(guò)2％。諸如粘度，壓力和溫度之類的參數(shù)會(huì)影響K因子的準(zhǔn)確性。重要的是要注意這種傳統(tǒng)的校準(zhǔn)方法，該方法會(huì)產(chǎn)生不確定性，而這些不確定性在文檔中很少提及。此類MFM / MFC必須使用應(yīng)用中使用的實(shí)際氣體進(jìn)行校準(zhǔn)。優(yōu)點(diǎn)是儀器因此更加精確。對(duì)于某些奇特的氣體，可能會(huì)產(chǎn)生相關(guān)性，盡管重復(fù)性仍然很低，但準(zhǔn)確性會(huì)受到影響。

什么是MEMS流量傳感器？

基于MEMS的MFM / MFC沒(méi)有LFE，而是有規(guī)律的旁路。其功能是確保流過(guò)傳感器的總氣體的定義百分比。傳感器的孔徑大得多，因此，例如，壓降相對(duì)較低，并且傳感器對(duì)污染的敏感性低于毛細(xì)管。MEMS傳感器的靈敏度也高得多，這是因?yàn)榭梢垣@得1000：1的調(diào)節(jié)比（毛細(xì)管傳感器的調(diào)節(jié)比是50：1）。然而，MEMS傳感器的非常大優(yōu)點(diǎn)是沒(méi)有（可測(cè)量的）漂移。漂移是零的緩慢偏移，因此給定流量下的測(cè)量值會(huì)影響精度。

MEMS傳感器測(cè)量原理

MEMS質(zhì)量流量計(jì)的傳感器

利弊

毛細(xì)管傳感器在鉑絲上表現(xiàn)出機(jī)械應(yīng)力和熱應(yīng)力以及絕緣材料的老化。毛細(xì)管傳感器必須在加熱柜中接受“老化”，以加速老化過(guò)程。老化的毛細(xì)管傳感器顯示的漂移小于，但仍然存在。制造商有時(shí)會(huì)使用低流量截止選項(xiàng)來(lái)隱藏這種效果。在特定值下，測(cè)試信號(hào)被強(qiáng)制為零，從而掩蓋了小的漂移。

MEMS傳感器由兩個(gè)或三個(gè)溫度傳感器和一個(gè)加熱器組成，該加熱器氣相沉積為薄膜上的微觀分子層。從概念上講，MEMS是低能量的傳感器，并且由于膜的熱和應(yīng)力隔離，這確保MEMS傳感器不受任何機(jī)械應(yīng)力和熱應(yīng)力的影響。另外一個(gè)要點(diǎn)：傳感器是全部安裝在MEMS上的電子電路的一部分。被測(cè)信號(hào)立即在MEMS傳感器本身上數(shù)字化。沒(méi)有不良的連接，沒(méi)有EMC使信號(hào)失真。這些是MEMS傳感器不漂移并保持長(zhǎng)期精度，可重復(fù)性和可靠性的主要原因。

傳感器的另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是速度非?？欤喉憫?yīng)時(shí)間為50毫秒。接通電源后，一秒鐘內(nèi)即可使用設(shè)備，而毛細(xì)管概念需要15分鐘。儀器不需要定期進(jìn)行調(diào)零（對(duì)于毛細(xì)管MFC，這是標(biāo)準(zhǔn)程序）?；贛EMS的MFC顯著提高了被測(cè)流量和調(diào)節(jié)流量的可靠性。

非常后，不應(yīng)提及MEMS確實(shí)需要進(jìn)行適當(dāng)?shù)臏囟妊a(bǔ)償。更先進(jìn)的制造商總是在兩個(gè)不同的溫度下校準(zhǔn)他們的MEMS單元。在運(yùn)行期間，它們測(cè)量氣體溫度并補(bǔ)償MFM / MFC讀數(shù)。這也有助于氣體測(cè)量/控制的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性。

概要

這兩個(gè)概念都有其強(qiáng)項(xiàng)和弱項(xiàng)。所述毛細(xì)管傳感器，結(jié)合所述LFE導(dǎo)致通過(guò)傳感器和旁路流之間的合理的線性關(guān)系。因此，可以使用所謂的K因子，即兩種氣體之間的乘數(shù)。對(duì)于腐蝕性氣體，毛細(xì)管傳感器可以使用安全氣體（如空氣）進(jìn)行校準(zhǔn)，并使用此K系數(shù)。這樣，這些單元就可以用腐蝕性氣體測(cè)量出合理的校正值。但是，K因子校準(zhǔn)并不總是準(zhǔn)確的，有些MFC比其他的要好，盡管大多數(shù)毛細(xì)管制造商都沒(méi)有這樣做，但非常好還是用

實(shí)際氣體進(jìn)行校準(zhǔn)。其他優(yōu)點(diǎn)還包括高壓版本的可用性以及腐蝕性應(yīng)用材料的選擇。

上海自動(dòng)化儀表有限公司對(duì)于基于MEMS的MFC，我們?cè)跍?zhǔn)確性，響應(yīng)時(shí)間和量程比方面有更好的規(guī)格。MEMS傳感器無(wú)法使用K因子，因此MFC需要使用實(shí)際氣體進(jìn)行校準(zhǔn)。限制是這些MFC不適合每種氣體。一些MEMS制造商為補(bǔ)償其器件的溫度做了很長(zhǎng)的路要走。這樣可以在更寬的溫度范圍內(nèi)提供更高的精度。

基于MEMS的MFC的關(guān)鍵優(yōu)勢(shì)在于傳感器的零漂移

質(zhì)量流量控制器的典型應(yīng)用

PVD-以及半導(dǎo)體行業(yè)的其他流程

生物反應(yīng)器中空氣，氧氣，氮?dú)夂投趸嫉膭┝?/span>

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